性能高品質:高品質數字型MFC,工業級品質,質量保證。
快響應:預熱時間小于1分鐘,開機即可工作,無需等待。
高可靠:整體不銹鋼混氣室,高耐腐蝕防吸附管路,適應腐蝕性吸附性氣體。
安全性
防泄漏:內部管路接頭均采用不銹鋼卡套接頭,無快接裝置。外部接頭采用帶自封閉的自鎖接頭,拔下管路氣體不會泄露。
自清洗:通過軟件控制,設備使用完畢可以進行自動清洗,仿制有毒有害氣體留存設備造成人身財產傷害。
便利性
觸摸工作:選用了最新的電容型真彩大屏,無任何物理按鍵,操作通過觸摸屏完成所有工作。
簡潔設計:設計之初我們就提出了“三步工作法”,力求讓客戶最多進行三步操作就可以工作。
通道數 | 二、三、四、五、六、七、八通道 |
配氣精度 | ±1%F.S. |
MFC線性度 | ±0.5%F.S. |
MFC重復精度 | ±0.2%F.S. |
響應時間 | ≤2 sec |
漏氣率 | 1×10-9SCCSHe |
通道材料 | 316L 不銹鋼 |
進出氣口連接氣嘴 | Φ6/不銹鋼穿板卡套 |
靜密封材料 | 氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠) |
預熱時間 | 5min |
工作環境溫度 | -20℃~55℃ |
環境濕度 | (15~85)% RH |
大氣壓力 | (86~106)Kpa |
供電 | 220VAC 50Hz |
配氣稀釋比 | 可選1000:1、500:1、300:1、100:1。默認為100:1 |
*具體量程可能會有細微偏差 | 工作在溫度25℃和1013 mbar 測試數據
1-技術原理
當氣體通過加熱的管子時。由熱力學定律Q=KF Cp△T可以計算氣體帶走的熱量。氣體的比熱和流量的大小與帶走的熱量成正比。不同的氣體,密度和比熱Cp不同。如果對帶走的熱量的進行檢測,把它轉化為電信號我們就可以利用氣體的比熱和密度,由電信號的大小確定氣體質量流量的大小。
2-混氣結構
配氣的關鍵就在于氣體的充分混合,如果沒有設計精密的混氣室,那么配出來的氣體就會出現濃度的波動,給測試帶來誤差。我們通過S型管路以及多級切氣的結構,對氣體進行充分的打散匯聚從而進行氣體混合,得到了非常好的應用效果。
3-工業設計
防吸附耐腐蝕管路
為了解決氣體 吸附和腐蝕管路的問題,我們選擇高品質聚四氟乙烯管路或不銹鋼管路進行氣路連接。
高可靠接頭
航空級的氣動接頭,帶自動鎖止裝置,滿足高頻次拔插使用。既照顧了使用的便捷性又獲得了安全性。
4-軟件設計
UI設計:簡潔大方的UI設計是為了讓客戶一目了然,配合“三步工作法”的設計理念,客戶可以實現5分鐘上手的傻瓜式操作。
氣體范圍:為了提高設備的適用性,我們涵蓋了多達六十余種常用氣體,并可以根據客戶需求進行無限擴充。